1、等离子清洗使得用户能够远离有害溶剂对人体的损伤，一起也防止了湿法清洗中简单洗坏清洗目标的问题；

　　2、运用等离子清洗，能够使得清洗效率获得较大的进步。整个清洗工艺流程几分钟内即可完结，因而具有产率高的特色；

　　3、清洗目标经等离子清洗机清洗之后是干燥的，不需求再经干燥处理即可送往下一道工序。能够进步整个工艺流水线的处理效率；

　　4、运用等离子清洗，防止了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很简单保持清洁卫生；

　　5、防止运用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会发生有害污染物，因而这种清洗办法属于环保的绿色清洗办法。这在高度重视环保的情况下越发显出它的重要性；

　　6、采用无线电波规模的高频发生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它能够深化到物体的微细孔眼和凹陷的内部完结清洗使命，因而不需求过多考虑被清洗物体的形状。并且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果类似甚至更好；

　　7、等离子清洗机需求操控的真空度约为100Pa，这种清洗条件很简单到达。因而这种设备的设备成本不高，加上清洗过程不需求运用价格较为贵重的有机溶剂，这使得全体成本要低于传统的湿法清洗工艺；

　　8、等离子体清洗能够不分处理目标，它能够处理各式各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，仍是高分子资料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都能够运用等离子体来处理。因而特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。并且还能够有挑选地对资料的全体、部分或杂乱结构进行部分清洗；

　　9、等离子清洗机在完结清洗去污的一起，还能够改进资料本身的外表功能。如进步外表的潮湿功能、改进膜的黏着力等，这在许多使用中都是非常重要的。