经常有客户在使用等离子清洗机对产品进行处理时会出现产品变色的情况出现，尤其是在半导体封装键合元器件上出现的频率很大。今天就让我们来分析一下是什么原因导致了等离子清洗后产品变色。

　　

　　低温等离子体中存在着大量种类繁多的活性粒子，它们比通常的化学反应所产生的活性粒子活性更强、种类更多，这些活性粒子很容易和材料表面发生反应，因此常被用来对材料表面进行清洗或改性。

　　

　　等离子清洗机的机理主要是与材料表面发生反应，这种反应分为两种：一种是粒子的化学作用，主要是自由基活性粒子；另一种是粒子的物理作用，主要是正离子和电子。

　　

　　气体放电产生的等离子体中有电子、正离子、亚稳态的分子和原子等，当被清洗间浸没到等离子中时，等离子体中的化学活性粒子就与材料表面的污染物发生化学反应，如果是氢离子，反应为还原反应。如果是氧离子，则发生氧化反应。

　　

　　等离子清洗机清洗产品变色原因及解决办法如下：

　　

　　被清洗件表面变色的主要原因有两点，一是因射频频率、功率选择不当，导致零件整体温度过高，造成材料变性或整体氧化；二是因零件形状复杂，等离子体在零件局部形成了热点，导致局部温度过高，造成局部变性或氧化。

　　

　　总的来说变色是由于产品表面被氧化导致，解决办法如下：如果产品易被氧化，一般可以充入氩气和氢气的混合气体，把氢气比例控制在一定范围内，兼顾安全性和效率的平衡，易被氧化的产品，应该避免清洗腔室有氧气的存在，可以通入氢气将氧气还原掉。

　　

　　此外功率过大温度过高导致的产品变色，可以适当调整降低功率，将其控制在一个合适的范围内。

　　

　　以上就是等离子清洗机清洗产品变色的原因及其解决办法，以上内容仅供大家参考，具体解决方案，可以自己根据以上分析自行调整工艺参数。