一般而言，设备的照常运行再正常不过了，只是任何东西都有出毛病的可能，真空等离子清洗机同样如此，那若是它在使用过程中，出现了故障并响起报警铃声，我们应该怎么排查问题，解决问题呢？今天我们将会在这里介绍等离子清洗设备出现报警情况时可能的一些原因。

　　

　　出现警报声可能的几种原因：

　　

　　一、真空泵过载保护

　　

　　当真空等离子清洗机出现报警情况时，其中有一种可能就是真空泵过载保护，在发生此类情况时，需要先检查系统参数有没有变化，因为在这种情况下，设备会中止供电，系统的各参数会归零，于是才会响起警报声，如果经过检查后系统参数并没有发生变化，就需要确认热继电器是否自动保护，按复位键后启动真空等离子处理系统的真空发生系统。如无自动保护，就需要检查电气线路是否有断路或短路情况。若是以上均无异常情况，就再检查真空泵情况。

　　

　　二、显示放空气体压力过低

　　

　　出现这种故障时，可能是气体未开启或气体已耗尽，需要检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无出现断路或短路的现象。

　　

　　三、真空泵倒计时时间故障

　　

　　当遇到此类故障时需要先检查真空泵抽真空能力，故障排除后再点击复位键，出现渗气或真空门未关到位都会影响真空泵抽真空能力。除了这些外还需要逐级检查等离子真空处理系统中的各连接点，看是否有管道连接不良或损坏的情形。

　　

　　四、CDA压力过低报警

　　

　　此报警也叫破空气体压力过低报警，是因为压缩空气的气压不足导致的，主要出现于配有高真空气动挡板阀的等离子处理设备，出现此报警时需检查CDA是否正常供气到设备端。确认供气压力有无过高或过低，还要看减压表的报警值设定是否正确，处理这些之外还要再对电气线路进行检查。

　　

　　这些就是当真空等离子清洗机出现报警情况时可能的一些原因了，出现故障并没有那么可怕，更何况任何设备都有出现故障的可能，在这种情况下，我们只需要耐心起来，按照步骤逐级检查，问题很容易就会被解决。