1、匹配器日常使用注意事项

　　定期对真空腔体内的插针公母头进行检查，防止有严重氧化及断裂现象。

　　确认电极板摆放正确，无顺序错误；在使用过程中如需调节极板数量及间距，必须确认匹配器自动匹配状态，如匹配时间较长，则需调节初始值。

　　定期确认匹配器的初始值，长时间使用可能会出现初始值偏移的状况，需要定期确认并根据实际情况调整。

　　如出现电容无法调节的情况，可打开匹配器，手动控制调节电容，确认叶片电容能否正常旋转。需留意电机与空气电容的传动部分是否有无法转动的情况，出现卡死需及时报修，如出现齿轮与轴之间打滑，可先自行处理。

　　2、匹配器故障说明

　　空气电容损坏

　　故障原因：空气电容在运行过程中摩擦产生导电杂质，造成局部短路；摩擦导致动片轴损坏，无法正常调节。

　　进口晶体管故障

　　故障原因：与空气电容动片轴损坏有关，空气电容无法正常工作，射频输出阻抗无法调节，导致晶体管击穿；在使用过程中，匹配器初始值调节不当，匹配时间过长或真空腔体内辉光放电不稳定也会造成晶体管损坏。

　　3、其他事项

　　匹配器是可长时间运行工作的，平时需注意观察及清洁。定期对匹配内部空气电容区域进行检查，打开盖板查看是否有空气电容摩擦产生的杂质沉积，如有则需用无尘布+酒精的方法清洁，因杂质通常为导电物质不可用气吹，以免出现打火及控制部

　　以上即是关于大气等离子清洗机电源匹配器的故障排除介绍与说明，希望对你有所帮助。